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光刻机巨子ASML创业小故事:从破产边际迈向成功

发布时间:发布时间:2022-10-01 01:15:50   来源:环球体育注册

  1984年的时分,光刻机巨子ASML曾在一天之内设定产品路线图,这段往事值得咱们好好回味。

  1984年11月中旬,ASML司理、高级工程师坐上大巴,往北行进。20人在维多利亚酒店(坐落凡高国家森林公园邻近)呆了2天,进行团队建造、训练。他们要奋力追逐,加快行进。总归,咱们的方针便是让新机器早一点做好预备。

  其时飞利浦半导体和资料部(以下简称Elcoma)期望能在1986年4月1日拿到PAS 2500光刻机,然后ASML想在世界半导体博览会Semicon West上展现机器。也便是说ASML只需一年多的时刻规划、制作新系统。ASML总司理Gjalt Smit给团队定出最终期限:1986年1月1日。高管们评论着怎么让计划变成实际。

  前两代机器均为触摸挨近式光刻机,曝光方法为触摸挨近式,运用光源分别为g-line和i-line。从80年代开端芯片工业运用的是g-line,ASML要引进i-line。其时ASML现已选择好了技能,也便是i-line,接下来要全速行进。

  训练开端的第一天,两名来自飞利浦的训练员讲课,他们告知咱们怎么以更快的速度将构思变成机器。假如是在飞利浦,整个流程一般要9-12年时刻,这次他们拿出新计划,能够将时刻缩短为7年。不过假如ASML想到达Elcoma设定的方针,具有的时刻只需一年多。

  第二天,训练持续,但Gjalt Smit闯了进来,他告知咱们训练完毕了。就在前一天晚上,Gjalt Smit刚访问完美国客户,坐飞机回来。他说:没有时刻了,整个团队有必要从头考虑产品路线图。

  Gjalt Smit指出,假如持续开发i-line光刻机,公司或许能够成为科技领先者,但这样的机器不会有人买,由于整个职业的基础设施、资料悉数是以g-line作为基础的。Gjalt Smit期望咱们开发一台光刻机,在1985年的Semicon West展会上展现。咱们心想:你丫的疯了吗?只给6个月开发新机器,怎么可能?

  咱们讨价还价,Gjalt Smit不乐意退让,截止日期不能变,有必要在预订时刻内开宣布PSA 2500。其时Martin van den Brink也参加了会议,他是一名新手(现在是ASML CTO)。Brink 2015年8月回想说:“其时Gjalt Smit逼迫咱们加快行进,刚下飞机就给出让人尴尬的指令,我心想:为什么他要这样做?现在回想起来,那会真是到了关键时刻。咱们与大学生坐在一同,他们互相不认识,没有一个人知道光刻机是怎么回事。现在回想起来恍如昨日。”

  开发软件的Wim Hendriksen也参加了会议,他回想道:“其时Gjalt告知咱们说:客户期望早一点交货。作为兢兢业业的荷兰人,咱们与客户没什么联络,但Gjalt与他们在交流。所以他闯进训练室,将全部推倒重来。他说:有必要在1985年5月之前拿出机器,不然咱们就会破产。那一天的训练以紊乱完毕。当咱们脱离大楼时,纸文件堆了一米高。评论是有意义的,咱们有一套可行的计划。”

  其时ASML的光刻机是以油驱动的,新计划将油换成了电。电技能现已存在,但ASML并没有运用。飞利浦研讨实验室现已从概念上验证过引进直线电机的可能性,但没有转化为产品。依据这一概念,ASML开宣布PAS 2400,它相当于过渡产品。从本质上讲,便是把PAS 2000光刻机与由直线电机操控的圆晶台结合在一同。

  这段往事告知咱们,服务客户时,没有必要时时刻刻寻求100%完美,只需功率足够好,有时机器有些缺陷也是能够承受的。走过创业阶段之后,AMSL要与竞争对手抢商场,它的主旨便是及时为客户供给正确的技能,制作最牢靠的机器并不是最重要的。自PAS2400之后的每一代机器都是这样的,一直到EUV。客户拿到新机器,有时接下来几年都不好用,但它们仍是乐意购买。为什么ASML还要出产呢?由于它想传达一个信号:咱们仍在沿着摩尔定律行进!

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