卓海科技已回复定见履行函：无锡市专精特新小伟人国内重要的半导体前道量检测设备供货商

　　无锡卓海科技股份有限公司于1月4日更新上市请求审阅动态，该公司已回复定见履行函，回复的问题首要有，关于创业板定位，关于继续运营风险等。

　　了解到，发行人作为国内重要的半导体前道量检测设备供货商，首要通过对退役设备 的精准修正和产线适配来完成其再利用价值，为客户供给高安稳性、品类丰厚的前道量检测修正设备，并通过配件供给及技能服务满意客户全方位需求。

　　前道量检测设备需求对晶圆的薄膜厚度、刻蚀深度、外表描摹、晶圆图画陷、微观缺点等进行纳米级的检测或量化描绘，其精度要求高，技能原理、作业原理及机械结构杂乱，具有较高的技能壁垒。因为从产线退役的设备常存在各类 问题，其初始状况各有不同，并且跟着中心模块技能原理杂乱程度的提高，所需的零部件越精细且数量越多，呈现各类毛病的可能性更大、修正难度也越高，使 得退役设备的修正面对修正点繁复、问题个性化、技能难度高级特色。此外，前道量检测设备品种、类型很多，不同品种退役设备的技能及作业原理、机械结构各有不同，进一步加大了对修正技能广度和深度的要求。

　　为完成对退役设备的修正，公司首要需求充沛把握各类设备的作业机理、运动操控和系统化参数装备，深入研究各功用模块、系统、单元的技能机理、内涵结构、操控参数。在此基础上，公司结合在固态激光、光谱检测、精细运算、信号搜集及检测等方面的技能研制和实践，建立多波段模仿光路渠道、反常光路快速剖析溯源渠道、高效模仿信号传输检测渠道、高精度数据监测及校验渠道等，形成了精准的毛病确诊才能；并建立了包含精细光电调理工艺、信号及传输系统纠偏工艺、量检测系统工作监测工艺、维度误差量剖析、高效激光质量剖析技能等在内的系统化的修正技能系统。依据上述精准的毛病确诊才能和系统化的修正技能系统，公司可以在包含光路模块、超高真空模块等中心模块在内的各种精细模块上履行较高精准度的详细功用修正及精细度康复作业，具有多品类、多制程、规模化的修正实力。因而，公司具有特有的修正技能系统，具有多品类、多制程、规模化的修正实力，具有技能创新性。

　　全球晶圆产能以先进制程产能为主，而我国晶圆产能以老练制程产能为主，下流需求的前道量检测修正设备多为世界龙头企业十余年前推出的类型，现已过屡次迭代。因为世界龙头企业多年来简直垄断了高端制作工艺商场，充沛享受了技能抢先带来的商场盈利，且彼此之间首要在商场空间大、赢利空间高的先进制程设备范畴竞赛，从头出产十余年前旧款设备不符合其商场策略。此外，KLA 设备修正事务现已存在多年，但掩盖的产品类型较少，对发行人影响较小。

　　公司产品首要使用于前道晶圆制作范畴的质量操控，归于前道量检测设备， 精细度要求一般为纳米量级；而国产设备企业产品除在前道量检测范畴外，也有 部分产品使用于先进封装等范畴，其精度要求一般仅为亚微米量级。依据中科飞 测招股说明书等揭露材料，中科飞测产品首要使用于前道制程范畴、先进封装领 域、精细加工范畴，2021 年度，中科飞测产品在上述使用范畴的收入金额别离 为23,284.99万元、12,044.15万元、590.42万元，收入占比别离为64.83%、33.53%、 1.64%。因而，公司与国产设备企业产品使用范畴存在差异，公司产品首要使用 于精细度要求更高的前道量检测范畴。

　　前道量检测设备贯穿晶圆制作首要工艺环节，产品包含十余大类，技能壁垒 高、制作难度大，各类产品的技能原理、研制途径不同，需求企业长期的投入 及技能沉淀。因而，国产设备企业结合本身技能堆集方向，一般先行挑选其间一 种或几种进行自研开发。公司深耕前道量检测设备范畴十余年，通过多年技能堆集和很多的出产实践， 形成了包含毛病设备精准修正、多尺度晶圆量检测传输、多原料晶圆量检测定位 技能在内的修正技能系统，建立了毛病溯源渠道、多波段模仿光路渠道、反常光 路快速剖析溯源渠道、高效模仿信号传输检测渠道、高精度数据监测及校验渠道 等不同的确诊渠道，以及精细光电调理工艺、信号及传输系统纠偏工艺、量检测 系统工作监测工艺、维度误差量剖析、高效激光质量剖析技能等精细修正技能， 可以对各类干流前道量检测退役设备展开系统化、规模化的修正，使设备康复至 预期功能，并完成在晶圆产线中的安稳运转。

　　在多年堆集的修正技能系统基础上，公司可以依据下流商场需求，较为灵敏 的挑选修正设备类别，产品掩盖面的扩张相对愈加敏捷。现在，公司前道量检测 修正设备掩盖了纳米图形晶圆缺点检测设备、无图形晶圆缺点检测设备、电子束 要害尺衡量测设备、套刻精衡量测设备、电子束缺点检测设备、电子束缺点复查 设备、晶圆介质薄膜量测设备、X 光量测设备、三维描摹量测设备、晶圆金属薄 膜量测设备等首要前道量检测设备品类，能适用于 3 至 12 英寸晶圆产线nm 芯片制程工艺，产品类别更为丰厚。依据 VLSI Research、QYR 数 据，公司设备所属类别对应的全球商场份额算计商场份额为 67.19%，根本掩盖 了商场首要的前道量检测设备类别。归纳剖析，国产设备企业或修正设备企业，均致力于服务国内商场对前道量检测设备需求，两边在产品使用范畴、产品类别、产品认可度上存在必定差异；尽管 已有国产设备触及公司部分首要类型产品所属品种，但全体国产率较低、商场需求大，对公司继续运营才能未形成严重晦气影响。

　　投资者联络关于同花顺软件下载法令声明运营答应联络咱们友情链接招聘英才用户体会方案

　　不良信息告发电话告发邮箱：增值电信事务运营答应证：B2-20090237