国内首台要害尺度量测设备出机中芯世界面向 300mm（12 英寸）硅片工艺制程

　　7 月 6 日音讯 近来，东方晶源举行国内首台要害尺度量测设备(CD-SEM)出机典礼，正式宣告斩获订单并出机中芯世界。

　　此次出机的要害尺度量测设备(类型：SEpA-c410)面向 300mm(12 英寸)硅片工艺制程，可完结高重复精度、高分辨率及高产能的要害尺度量测。进驻中芯世界后，将经过实践产线验证，进一步提高、完善设备功用，向工业化方针全体跨进。

　　芯片代工厂商要想生产出高良品率的芯片，除了芯片制作的首要工艺外，缺点检测以及各项要害尺度的检测也是工艺流程中不可或缺的环节。东方晶源出台的这台 300mm 硅片量测设备，其作用是对有用制程效能范围内的各项环节进行工艺鉴定。例如的薄膜厚度是否契合制程规范，芯片在完结刻蚀流程环节后，是否会影响硅片电性参数等。

　　此次出机典礼，标志着东方晶源继 2019 年霸占电子束缺点检测技能后，再一次获得严峻产品技能打破，填补了国产要害尺度量测设备(CD-SEM)的商场空白。

　　IT之家了解到，东方晶源自建立以来，专心于芯片制作要害环节的良率操控和提高范畴。在北京市经信局、亦庄管委会、国家 02 严峻专项组、合作伙伴和投资方的一起支持下，不断获得重要产品技能打破，公司旗下核算光刻系列软件(OPC)、电子束缺点检测设备(EBI)均现已过世界大厂产线验证并完结订单收入，在国产设备范畴获得了注意图成果。此次出机，东方晶源在良率操控产品线添加了至关重要的一环，也处理了我国在芯片制作范畴中又一项“卡脖子”难题。

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